等方性黒鉛は、半導体製造装置、高温炉部品など、寸法安定性と耐熱性が求められる分野で使用されています。粒子が微細で構造が緻密なため、高い強度と熱伝導性、電気伝導性を発揮します。
また、等方性黒鉛にSiC（炭化ケイ素）およびTaC（炭化タンタル）コーティングなどの表面処理を施すことにより、極めて高い耐熱性・耐酸化性・耐摩耗性を備えた先進的な黒鉛製品が実現します。
東滬商事では、日本国内の高機能黒鉛製品メーカーの製品を、対象部品の使用条件・寸法・設計に応じた素材選定から、最適な処理条件での受託対応までを包括的にご提案いたします。
シリコン単結晶製造用
シリコン単結晶引上げ炉用部材として幅広い黒鉛製品を取り揃えております。
ルツボ、ヒーター、インナーシールドなお大口径品をはじめ、高純度、表面処理を施したロングライフ品も提供いたします。
製品特徴：耐熱性・高密度・高強度・最適な熱伝導性・超高純度化
シリコンエピタキシャルウエハー用
エピタキシャルプロセスでは、SiCコート被覆サセプターが広く採用されています。
シリコンウェハーをエピタキシャル炉の中で加熱、表面上にエピタキシャル成長させるためのサセプターが必要とされます。均一なエピタキシャル成長にを実現するために多結晶炭化ケイ素コーティングで覆われた純度の高い黒鉛材料で作られたサセプターを提案いたします。
製品特徴：耐熱性・耐酸化性・防塵性・ガスシール性高密度
化合物半導体用
MOCVDプロセスではアンモニアガスを使用し、純度や防塵が求められる環境で使用されます。また、サセプターはウェハーに直接接触するパーツであり、高い寸法精度と滑らかなSiC膜が要求されるため、耐熱性、耐薬品性、防塵性に優れたSiCコートサセプターを提案いたします。
製品特徴：耐熱性・耐酸化性・防塵性・高寸法精度
熱処理用炉内部品
◇炭素繊維成型断熱材◇
炭素繊維成形断熱材は、ピッチ系炭素繊維を基材に、炭化率の高い樹脂を含浸させ、目的に応じた形状に成形、硬化、炭化、黒鉛化処理を施したもので、半導体製造熱処理工程炉に使用されております。断熱材はエネルギー効率、装置の安全性を高めるための重要な材料であり、使用環境に応じて耐熱温度、機械的強度、寸法安定性、施工性など多様なスペックが求められます。弊社では、用途別に適した選定を行い、最適な断熱材を提供いたします。
製品特徴：高強度性・耐熱性・高寸法精度・高純度化
◇黒鉛炉内部品◇
半導体製造装置の熱処理工程で使われる黒鉛部品は炉の機能を最大限に発揮させる為に高機能黒鉛部品が使用されます。黒鉛部品には炉の設計により様々な形状、特性の対応が必要となります。幅広いグレードを取り揃えており、炉の仕様に適合した材質の提案致します。
製品特徴：耐熱性・高純度化・高強度性・高寸法精度・熱伝導性